氧化鋁陶瓷是一種以（yǐ）氧化鋁(Al2O3)為主體的陶瓷材料，用於厚膜集成電路。氧化鋁陶瓷有較好的傳導性、機械強度（dù）和耐高溫（wēn）性。需要注意的是需用（yòng）超聲（shēng）波進行洗滌。氧化鋁（lǚ）陶瓷是一種用途廣泛的陶瓷，因為其優（yōu）越的性能，在現代社（shè）會的應用（yòng）已經越（yuè）來越廣泛，滿足於（yú）日用和特殊性能的需要。

　　氧化鋁陶瓷分為（wéi）高純（chún）型與普通型兩種。　　高純型氧（yǎng）化鋁陶瓷係Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由於其（qí）燒結溫度高達1650—1990℃，透射波長為1～6μm，一般製成熔融玻璃以取代鉑坩堝;利（lì）用其透光性及可（kě）耐堿金屬腐蝕性用作鈉燈管;在電子工（gōng）業中可用作集成電路基板與高頻（pín）絕緣材料（liào）。　　普通型氧化鋁（lǚ）陶瓷係按（àn）Al2O3含量不同分（fèn）為99瓷、95瓷（cí）、90瓷、85瓷等品種，有時Al2O3含量在（zài）80%或75%者也劃為普通氧化鋁（lǚ）陶瓷係（xì）列。其中99氧化鋁瓷材料用於製作（zuò）高（gāo）溫坩（gān）堝、耐火爐管及特殊耐磨材（cái）料（liào），如陶瓷軸承、陶瓷密封件及水閥片等;95氧化鋁瓷主（zhǔ）要用作耐腐蝕、耐磨部件;85瓷（cí）中由於（yú）常摻入部分滑石（shí），提高了電性（xìng）能與機械強度，可與鉬、铌、鉭等金屬封接，有的用作電真（zhēn）空裝置器件。

　　粉體製備　　將入廠的氧化鋁粉按照不同的產品（pǐn）要求與（yǔ）不同成（chéng）型（xíng）工藝製備成粉體材（cái）料。粉體粒度在1μm以下，若製造高純氧化鋁陶瓷製品除氧化鋁純度在99.99%外，還需超細粉（fěn）碎（suì）且使其粒徑分布均（jun1）勻。采用擠壓成型或注射成型時，粉料中需引入粘結劑（jì）與可塑劑，一般為重量比在10-30%的熱塑性塑（sù）膠或樹脂有機粘結劑應與氧化鋁（lǚ）粉體在（zài）150-200溫度下（xià）均勻混合，以利於成型（xíng）操（cāo）作。采用熱壓工（gōng）藝成型的粉體原料則（zé）不需加入粘結劑。若采用半自動或全自動幹壓成型，對（duì）粉體有（yǒu）特別的工藝要求，需要采用（yòng）噴霧造粒法對（duì）粉（fěn）體進行處理、使其（qí）呈現圓球狀，以利於提（tí）高（gāo）粉體流（liú）動性便於成型中自動充填（tián）模壁。此外，為減少粉料與模壁的摩擦（cā），還需添加1～2%的潤滑劑（jì），如硬脂酸，及粘（zhān）結劑PVA。　　欲幹壓成型時需對（duì）粉體噴霧造粒，其中引入（rù）聚乙烯醇作為粘結劑。上海某研（yán）究所開發一種水溶性石蠟用作Al203噴霧造粒的（de）粘結劑，在加熱情況下有很好的（de）流動性。噴霧造（zào）粒（lì）後的粉體具備流動性好、密度鬆散，流動角摩擦（cā）溫度小於30℃。顆粒級配比（bǐ）理想等條件，以獲得（dé）較大（dà）素（sù）坯密度。　　成型方（fāng）法　　氧化鋁陶瓷製品成型方法有幹壓、注漿、擠壓、冷（lěng）等靜壓、注射、流延、熱壓與熱（rè）等（děng）靜壓成型等多種方法。近幾年來國內外又開發出壓濾成型、直接凝固注模成型、凝膠注成型、離心注漿成型與固體自（zì）由成型等成型技（jì）術方法。不同的產品形狀、尺寸、複雜造型（xíng）與精度的產品需要不同的成型方法。　　常用成型介紹：　　1、幹壓成型：氧化鋁陶瓷幹壓（yā）成型技術限於形狀（zhuàng）單（dān）純且內壁（bì）厚度超過1mm，長（zhǎng）度與直徑之比不大（dà）於4∶1的物件。成型方（fāng）法有單軸向或雙向。壓（yā）機有液壓式、機（jī）械（xiè）式兩（liǎng）種，可呈半自動或（huò）全自動成型（xíng）方式。壓機壓力為200Mpa。產量（liàng）每分鍾可達15～50件。由於液壓式壓機衝程壓力均（jun1）勻，故在粉料充填有（yǒu）差異時壓（yā）製件（jiàn）高度不同。而機（jī）械式壓機（jī）施加壓（yā）力大小因粉體充填多少而變化（huà），易導致燒結後尺寸收縮產生（shēng）差異，影響產品質量。因此幹壓過（guò）程中粉體顆粒均勻分布對模具充填非常重要。充填量準確與否對製造的氧化鋁陶瓷零件尺寸精度控製影響很大。粉（fěn）體顆粒以大於60μm、介（jiè）於60～200目之間可獲自由流（liú）動效果，取得壓力成型效果。　　2、注漿成型法：注漿成型是氧化（huà）鋁陶瓷使用早的成型方法。由（yóu）於采用石膏模、成本低且易於成（chéng）型大尺寸、外形複雜的部件。注漿成型（xíng）的關鍵是（shì）氧化鋁漿料的製備。通常以水為熔劑介質，再加（jiā）入解膠劑與粘結劑，充分研磨之後（hòu）排氣，然後倒注入石膏（gāo）模內。由於石膏模毛細管對水分的吸附，漿料遂固化在模內。空心注漿時，在模壁吸附漿料達要求厚度時，還需將多餘漿料倒出（chū）。為減少坯（pī）體收（shōu）縮量、應盡量使用高濃度漿料。　　氧化鋁陶（táo）瓷漿料中還需加入有機添加劑以使料漿顆粒表麵形成雙電層使料漿（jiāng）穩定懸浮不沉澱。此外還（hái）需加入乙烯（xī）醇、甲基纖維素、海藻（zǎo）酸胺等粘（zhān）結劑及聚丙烯胺、阿拉（lā）伯（bó）樹膠（jiāo）等分散劑，目（mù）的均在（zài）於使漿料適宜注漿成型操作。

　　將顆粒狀陶瓷坯體致密（mì）化並（bìng）形成固體材（cái）料的技術方法叫燒結。燒結即將（jiāng）坯體（tǐ）內顆粒間空（kōng）洞（dòng）排除，將少量氣體及雜質有機物排除，使顆粒之間相互生長結合，形成新的物質的（de）方法。　　燒成（chéng）使用的加熱裝置廣泛使用電爐（lú）。除了常（cháng）壓燒結即無壓燒結外，還有熱壓燒結及熱等靜壓燒結等（děng）。連續熱壓燒結（jié）雖然提高產量，但設備和（hé）模具費用太高，此外由於屬軸向（xiàng）受熱，製品長度（dù）受製。熱等靜壓燒成采用高溫高壓氣（qì）體作壓力傳遞介質，具（jù）有各向均勻受熱（rè）之優點，很適合形狀複（fù）雜製品的燒結。由（yóu）於（yú）結構均勻，材料性能比冷壓燒結提高30～50%。比一般熱壓燒（shāo）結提高10-15%。因此，一些高附加值氧化鋁陶瓷產品或國（guó）防軍工（gōng）需用的（de）特殊零部件、如陶瓷軸承、反射鏡、核燃料及槍管等製品、場采用熱等靜壓燒（shāo）成方法。　　此外，微波燒結（jié）法、電弧等離子燒結法、自（zì）蔓延燒結（jié）技術亦正在開發（fā）研究中。　　精加工與封裝工序　　有些氧化鋁（lǚ）陶瓷材料在完成燒結後，尚需進行精加工。如可用作人工骨的製品要求表麵有（yǒu）很高的光潔度、如鏡麵一樣，以增加潤滑性。由於氧化鋁陶瓷材料硬度（dù）較高，需（xū）用更硬的研（yán）磨拋光磚材料對其作精加工。如SIC、B4C或金剛鑽等。通常（cháng）采用由粗（cū）到（dào）細磨料逐級磨削，表麵拋（pāo）光（guāng）。一（yī）般可采用<1μm微米的（de）Al2O3微粉或金剛鑽膏（gāo）進（jìn）行研（yán）磨拋光。此外激光加（jiā）工（gōng）及超聲（shēng）波加工研磨及拋光的（de）方法亦可采用。　　氧化鋁陶瓷強化工藝　　為（wéi）了增（zēng）強氧化鋁陶瓷，顯著（zhe）提高其力學強度，國外新推一種氧化鋁陶瓷強化工藝。該工藝新穎簡單，所采取的技術手段是在氧化鋁陶瓷表麵（miàn），采用電子射線真空鍍膜、濺射真空鍍（dù）膜或化學氣相蒸鍍方法，鍍上一（yī）層矽化合物薄膜，在1200℃～1580℃的加熱處理，使氧化鋁陶瓷（cí）鋼化。　　經強化的氧化鋁陶瓷的力學強度可在原基礎上大幅度（dù）增長，獲得具有超高強度的氧化鋁陶瓷。